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基礎信息Product information

產品名稱：TH513半導體器件C-V特性分析儀

產品型號：

更新時間：2025-11-05

產品簡介：

國產TH513半導體器件C-V特性分析儀替代進口，測MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路半導體功率器件，曲線圖示儀

產品特性Product characteristics

“精"——上海市先JIN企業!

“專"——專注工業測試十六年!

“特"——德國萊茵TUV認證供應商!

“新"——注冊資本實繳壹仟萬元!實繳資金行業中居前茅!抗金融風險能力強!

TH513半導體器件C-V特性分析儀  

性能特點

 一體化設計：

    LCR+柵極電壓VGS

 +漏極電壓VDS

 +通道切換+上位機軟件

• 柵極電壓VGS：0 - ±40V

 • 漏極電壓VDS：0 - ±200V/±1500V/±3000V

 • 單管器件（點測）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)

   三種測試方式

• 四寄生參數(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)

   同屏一鍵測量及顯示

• 標配2通道，可擴展至6通道，可測單管、多芯或模組器件    （TH513僅1通道）

• CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

• 電容快速充電技術，實現快速測試

• 接觸檢查Cont

 • 通斷測試OP_SH

 • 自動延時設置

• Crss Plus功能：解決高頻下Crss負值問題

• 高壓擊穿保護：DS瞬間短路，保護儀器

• Interlock安全鎖功能：增加高壓防護墻(僅TH513)

 • Cs-V功能：二極管結電容CV特性測試分析

• 等效模式轉換功能，可選Cs或Cp模式

• 10檔分選

TH513半導體器件C-V特性分析儀應用

• 半導體元件/功率元件

   二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析

• 半導體材料

   晶圓、C-V特性分析

• 液晶材料

   彈性常數分析

 標配RS232  √ USB HOST  √ USB DEVICE  √ LAN  √ HANDLER  √

產品型號TH511TH512TH513

通道數2（可選配4/6通道）1

顯示顯示器10.1英寸(對角線)電容觸摸屏

比例16:9

分辨率1280×RGB×800

測量參數CISS、COSS、CRSS、Rg，四參數任意選擇

測試頻率范圍1kHz-2MHz

精度0.01%

分辨率10mHz1.00000kHz-9.99999kHz

100mHz10.0000kHz-99.9999kHz

1Hz100.000kHz-999.999kHz

10Hz1.00000MHz-2.00000MHz

測試電平電壓范圍5mVrms-2Vrms

準確度±（10%×設定值+2mV）

分辨率1mVrms0.5Vrms-1Vrms

10mVrms1Vrms-2Vrms

VGS電壓范圍0 -   ±40V

準確度1%×設定電壓+8mV

分辨率1mV0V - ±10V

10mV±10V - ±40V

VDS電壓范圍0 -   ±200V0 -   ±1500V0 -   ±3000V

準確度1%×設定電壓+100mV

輸出阻抗100Ω，±2%@1kHz

數學運算與標稱值的絕對偏差Δ，與標稱值的百分比偏差Δ%

校準功能開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD、夾具校準

測量平均1-255次

AD轉換時間（ms/次）快速+：2.5ms(＞5kHz)

快速：11ms,

中速：90ms

慢速：220ms

最高準確度0.5%（具體參考說明書）

CISS、COSS、CRSS0.00001pF   - 9.99999F

Rg0.001mΩ   - 99.9999MΩ

Δ%±（0.000% - 999.9%）

多功能參數列表掃描點數50點，每個點可設置平均數，每個點可單獨分選

參數測試頻率、Vg、Vd、通道

觸發模式順序SEQ：當一次觸發后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次

步進STEP：每次觸發執行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結果只在最后的/EOM才輸出

圖形掃描掃描點數任意點可選，最多1001點

結果顯示同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線

顯示范圍實時自動、鎖定

坐標標尺對數、線性

掃描參數Vg、Vd、Freq

觸發方式手動觸發一次，從起點到終點一次掃描完成，下個觸發信號啟動新一次掃描

結果保存圖形、文件

比較器Bin分檔10Bin、PASS、FAIL

Bin偏差設置偏差值、百分偏差值、關

Bin模式容差

Bin計數0-99999

檔判別每檔最多可設置四個參數極限范圍，四個測試參數結果設檔范圍內顯示對應檔號，超出設定最大檔號范圍則顯示FAIL，未設置上下限的測試參數自動忽略檔判別

PASS/FAIL指示滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮，否則FAIL燈亮

存儲調用內部約100M非易失存儲器測試設定文件

外置USB測試設定文件、截屏圖形、記錄文件

鍵盤鎖定可鎖定前面板按鍵，其他功能待擴充

接口USB HOST2個USB HOST接口，可同時接鼠標、鍵盤，U盤同時只能使用一個

USB DEVICE通用串行總線插座，小型B類（4個接觸位置）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合，陰接頭用于連接外部控制器。

LAN10/100M以太網，8引腳，兩種速度選擇

HANDLER用于Bin分檔信號輸出

RS232C標準9針，交叉

RS485標準差分線

GPIB24針D-Sub端口（D-24 類），陰接頭與IEEE488.1、2和SCPI兼容

開機預熱時間60分鐘

輸入電壓100-120VAC/198-242VAC可選擇，47-63Hz

功耗不小于130VA

尺寸（WxHxD）mm430x177x405

重量16kg

技術參數 

產品型號TH511 TH512 TH513

通道數2（可選配4/6通道）

顯示

顯示器10.1英寸(對角線)電容觸摸屏

比例16:9

分辨率1280×RGB×800

測量參數Ciss、

Coss、Crss、Rg，四參數任意選擇

測試頻率

范圍1kHz-2MHz

精度0.01%

分辨率

10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz

 100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz

 1Hz 100.000kHz-999.999kHz

 10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz

測試電平

電壓范圍5mVrms-1Vrms

準確度±（10%×設定值+2mV）

分辨率1mVrms 5mVrms-1Vrms

 VGS

電壓

范圍0 - ±40V

準確度1%×設定電壓+8mV

分辨率

1mV 0V - ±10V

 10mV ±10V - ±40V

 VDS

電壓范圍0 - ±200V 0 - ±1500V 0 - ±3000V

準確度1%×設定電壓+100mV

輸出阻抗100Ω，±2%@1kHz

數學運算與標稱值的絕對偏差Δ，與標稱值的百分比偏差Δ%

校準功能開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD、夾具校準

測量平均1-255次

AD轉換時間（ms/次）

快速+：2.5ms(＞5kHz)

快速：11ms

中速：90ms

慢速：220ms

最高準確度0.5%（具體參考說明書）

  Ciss、Coss、Crss 0.00001pF - 9.99999F

 Rg 0.001mΩ - 99.9999MΩ

 Δ% ±（0.000% - 999.9%）

多功能參數

列表掃描

點數50點，每個點可設置平均數，每個點可單獨分選

參數測試頻率、Vg、Vd、通道

觸發模式

順序SEQ：當一次觸發后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次

步進STEP：每次觸發執行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結果只在最

后的/EOM才輸出

圖形掃描

掃描點數任意點可選，最多1001點

結果顯示同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線 

顯示范圍實時自動、鎖定

坐標標尺對數、線性

掃描參數Vg、Vd

觸發方式手動觸發一次，從起點到終點一次掃描完成，下個觸發信號啟動新一次掃描

結果保存圖形、文件

比較器

Bin分檔10Bin、PASS、FAIL

 Bin偏差設置偏差值、百分偏差值、關

Bin模式容差

Bin計數0-99999

檔判別每檔最多可設置四個參數極限范圍，四個測試參數結果設檔范圍內顯示對應檔號，超出設定最大檔號

范圍則顯示FAIL，未設置上下限的測試參數自動忽略檔判別

PASS/FAIL指示滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮，否則FAIL燈亮

存儲調用內部約100M非易失存儲器測試設定文件

外置USB測試設定文件、截屏圖形、記錄文件

鍵盤鎖定可鎖定前面板按鍵，其他功能待擴充

接口

USB HOST 2個USB HOST接口，可同時接鼠標、鍵盤，U盤同時只能使用一個

USB DEVICE通用串行總線插座，小型B類（4個接觸位置）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合，陰接頭用于連接外部控制器。

LAN 10/100M以太網，8引腳，兩種速度選擇

HANDLER用于Bin分檔信號輸出

RS232C標準9針，交叉

RS485標準差分線

GPIB 24針D-Sub端口（D-24 類），陰接頭與IEEE488.1、2和SCPI兼容

開機預熱時間60分鐘

輸入電壓100-120VAC/198-242VAC可選擇，47-63Hz

供電電源功率不小于130VA

尺寸（WxHxD）mm 430x177x405

重量16kg

隨機附件

電源線一根

TH26063B 測試夾具    （僅TH511和TH512）

TH26063C 測試夾具    （僅TH511和TH512）

TH26063D 連接電纜    （僅TH511和TH512）

TH26063G 測試延長線（僅TH511和TH512）

TH26071C USB轉RC232通訊線纜

TH513-1   測試夾具    （僅TH513） 

簡介

TH510系列半導體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據當前半導體功率器件發展趨勢，針對半導體材料及功率器件設計的分析儀器。

儀器采用了一體化集成設計，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試，無需頻繁切換接線及設置參數，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試，適用于生產線快速測試、自動化集成。

CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導體材料及功率器件的研發及分析（此功能為選件）。

儀器設計頻率為1kHz-2MHz，Vgs電壓可達±40V，VDS電壓可達±200V/±1500V/±3000V，足以滿足大多數功率器件測試。

功能特點

A.一體化測試，集成度高、體積小、效率高

   一臺儀器內置了LCR數字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機軟件，將復雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統內，操作更簡單。特別適合產線快速化、自動化測試。

B.單管器件測試，10.1寸大屏，四種寄生參數同屏顯示，讓細節一覽無遺

   MOSFET或IGBT最重要的四個寄生參數：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試，10.1寸大屏可同時將測量結果、等效電路圖、分選結果等重要參數同時顯示，一目了然。

   一鍵測試單管器件器件時，無需頻繁切換測試腳位、測量參數、測量結果，大大提高了測試效率。

C.列表測試，多個、多芯、模組器件測量參數同屏顯示

   TH510系列半導體C-V特性分析儀支持最多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試，所有測量參數通過列表掃描模式同時顯示測試結果及判斷結果。

D.曲線掃描功能（選件）

   在MOSFET的參數中，CV特性曲線也是一個非常重要的指標，如下圖

   TH510系列半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以以對數、線性兩種方式實現曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線。

   TH510系列同時支持多種曲線掃描模型

   曲線支持散點標記及粗細調節

   Ciss-Rg曲線掃描

E.Cs-V功能,二極管結電容CV特性測試分析

    得益于TH510系列功率器件CV特性分析儀內置了2路直流電源，使二極管的CV特性分析成為可能，Cs-V功能可用于測試各種二極管的結電容，并可分析二極管的CV特性。

F.等效模式轉換

   TH510系列功率器件CV特性分析儀測試結果的電容C均為串聯模式Cs，對于部分需求測試并聯模式Cp需求的客戶，可自行切換

G. 多種獨特技術，解決自動化配套測試痛點

       在配套自動化設備或者產線時，經常會遇到下列問題，同惠針對多種情況進行了優化。

       1）獨特技術解決Ciss、Coss、Crss、Rg產線/自動化系統高速測試精度

同惠電子在電容測試行業近30年的經驗積累，得以在產線、自動化測試等高速高精度測試場合，都能保證電容、電阻等測試精度。

常規產線測試，提供標準0米測試夾具，直插器件可直接插入進行測試，Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。                   image.png        

針對自動化測試，由于自動化設備測試工裝通常需要較長連接線，大多自動化設備生產商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差，為此，同惠設計了獨特的2米延長線并內置了2米校準，保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。

       2）接觸檢查（Contact）功能，提前排除自動化測試隱患

在高速測試特別是自動化測試中，經常會由于快速插拔或閉合，造成測試治具或工裝表面磨損、引線斷裂而接觸不良，接觸不良的造成的最直接后果是誤判測試結果而難以發現，在廢品率突然增加或發出產品故障原因退回時才會發現，因此是一個極大的隱患。

同惠TH510系列半導體C-V特性分析儀采用了獨特的硬件測試方法，采用了四端測量法，每個腳位均有兩根線連接，若任意一根線斷裂或者接觸點接觸不良，均可及時發現并提供接觸不良點提示，儀器自動停止測試，等待進一步處理。

保障了結果的準確性，同時利于客戶及時發現問題，避免了不良品率提高及故障品退回等帶來的損失。

       3）快速通斷測試（OP_SH）,排除損壞器件

在半導體器件特性測試時，由于半器件本身是損壞件，特別是多芯器件其中一個芯已經損壞的情況下，測試雜散電容仍有可能被判斷為合格，而半導體器件的導通特性才是最重要的特性。

因此，對于本身導通特性不良的產品進行C-V特性測試是沒有必要的，不僅僅浪費了測量時間，同時會由于C-V合格而混雜在良品里，導致成品出貨后被退回帶來損失。

TH510系列半導體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試（OP_SH）功能,可用于直接判斷器件本身導通性能。

       4）Crss+Plus功能，解決自動化測試系統高頻下Crss負值問題      

Crss電容通常在pF級，容量較小，測試是個難題。

而在自動化測試系統中，由于過多的轉接開關、過長測測試引線等帶來的寄生參數。

因此，測試Crss，特別是在高頻測試時通常會出現負值，

同惠電子憑借在電容器測試行業30年的技術及經驗積累，采用獨特的算法的Crss Plus模式，可保證即使是在自動化測試系統中、高頻下也能測的正確的結果。

       5）漏源高壓擊穿保護技術，防止損壞測試儀器

在測試功率器件電容時，漏極D通常會加上高壓，特別是第三代功率半導體器件，電壓甚至可高達1000V-3000V，當漏源瞬間擊穿時，常會導致電容器瞬間短路放電，在漏源電壓1500V時，放電電流可高達780A，如此大的瞬間電流，會反沖至儀器內部電路，并導致損壞。

同惠高壓擊穿保護技術，解決了此隱患，避免經常由于高壓沖擊損壞儀器，降低了維修成本的同時提高了自動化測試的效率。

       6）Interlock互鎖功能，確保高壓下操作環境安全（僅TH513）

在測試功率器件需施加高壓，因此對于操作者及其他設備的安全隔離非常重要，特別是在自動化產線，通常會將高壓設備放置在一個隔離的環境，并通過安全門開啟關閉來保證操作者的安全。

TH510系列功率器件CV特性分析儀配置了Interlock接口，可與安全門開關連接，在安全門開啟時切斷高壓輸出并禁止儀器啟動，只有關閉后才能正常工作。確保了操作者和設備的安全。

       7）模組式器件設置，支持定制

針對模組式器件如雙路（Dual）MOSFET、多組式IGBT，有些器件會有不同類型芯片混合式封裝，TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優化，常見模組式芯片Demo已內置，特殊芯片支持定制。

       8）10檔分選及可編程HANDLER接口

儀器提供了10檔分選，為客戶產品質量分級提供了可能，分選結果直接輸出至HANDLER接口

在與自動化設備連接時，怎么配置HANDLER接口輸出，一直是自動化客戶的難題，TH510系列LCR將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對應信號、應答方式等可視化，讓自動化連接更簡單。

TH512國產半導體參數分析儀規格參數指標